(1)精雕機高剛度。包括靜剛度和動剛度，除零、部件本身的剛度外，還應注意接觸剛度，同時應考慮由工件、機床、刀具、夾具所組成的工藝系統剛度。精密機床和超精密機床雖然切削力不大，但機床受力變形將會造成精度上的很大影響。

   (2)精雕機高精度。包括高的靜精度和動精度，主要的性能指標有幾何精度、運動精度(定位精度、重復定位精度)和分辨力等，如主軸回轉精度、導軌運動精度、分度精度等，這些可以用檢測設備檢測出來的，比較著名的是雷尼邵精密檢測以系列?，F代的精密機床和超精密機床大多采用液體靜壓軸承或空氣靜壓軸承的主軸和導軌，精密滾珠絲杠傳動，配有微動工作臺、誤差補償裝置，實現微位移。對于高速回轉的零件、部件都應進行動平衡。

精雕機

   (3)高自動化。為了保證加工質量，減少人為因素影響，現代精密機床和超精密機床多配置精密數控系統以實現自動控制，或采用計算機控制來實現適應控制、優化等以保證零件生產加工要求。

  (4)高穩定性和保持性。設備在經過運輸、倉儲、安裝調試后，在規定的工作環境下，使用過程中應能長時間保持精度、抗干擾、穩定地工作。因此，加工設備應有良好的耐磨性、抗振性、熱穩定性。